第五十二章 追光行动（2）(2/2)

首发：~第五十二章 追光行动（2）

在这群人中，大王先生资历最老，江湖地位也最高。

84岁的他首先开口，声音中透露出一丝亢奋，

“小卿，有话直说，要怎么安排，怎么进行，你直接吩咐就是了。”

大王先生的这句话，相当于代表在场的所有人进行了表态。

卿云心中感激，他对着所有大佬鞠了一躬，然后看向了那位主持了前两代光刻机研发的徐端颐。

“徐老，”卿云的目光中带着一丝期待，“您是浸淫此道多年的老前辈，我想请问您，有没有把握根据资料对浸润式光刻机进行研发？”

徐端颐没有急着回答，他闭目思索了良久，会议室里的气氛也随着他的沉默而变得紧张起来。

虽然他们都是搞这行的，但半导体是个庞大的系统工程，术业有专攻，要说起光刻机的研发，还得看这位老爷子。

终于，徐端颐缓缓睁开了眼睛，他的声音中带着一丝沙哑：“有把握，但是……这不解决根本问题。”

此言一出，会议室里的气氛顿时凝重起来。在座的每一位都是半导体领域的专家，他们当然明白徐端颐所说的‘根本问题’指的是什么。

表情怪异的黄令仪紧随其后的开了口，“小卿，这份资料非常的重要，对我们国家来说，完全可以说是无价之宝。

但是……”

徐端颐接过她的话头继续说着，“小卿，一台光刻机，我们进行拆分，大致分为光源系统、照明系统、投影物镜系统、双工件台系统、以及光罩与晶圆传输系统、调平调焦系统、对准系统七个子系统。

光刻机性能的三大评价指标是分辨率、套刻精度、和产率，这是一整套极严苛的环境控制、整机控制以及整机软件分析系统。

可以说光刻机的每一个子系统都在挑战人类工程的极限。”

他惋惜的叹了口气，“我的意思是，只有这套图纸，是不够的。我们差的……不是一点半点，甚至很多领域，我们的现状是近乎为零。

坦率的说，给我图纸，给我一年半载，我能造出来，但没法用，你明白吗？”

卿云闻言并没有什么气馁的神色。

很正常，毕竟这群老头老太太们，不是和他一样都是重生的。

他们一直在争气，却没那个解气的经历。

徐端颐望着他，神色复杂的说着，“小卿，追光……光喊口号是没用的。技术、工艺受限，单单突破一点，是没用的。”

云帝闻言，眼神毫不躲闪的，淡淡的说着，“老爷子，我明白的。我虽然年轻，但也没那么天真。”

这个过程，他太清楚了。

华国的第四代光刻机，最初便是如此。

07年我们便达到了90nm，只是光学系统拉胯，别人见你做出来了，直接不卖配件让我们没法量产，直到十年后在国内各参与方通力合作才解决。

虽然那是干式光刻机，对光学系统进口依赖严重，但当前的现状就是就算走浸没式，同样也会被别人封锁。

因为正如徐端颐所言，很多领域就是一片空白，只能依赖进口。

不过……

云帝此时却笑了笑，“老爷子，这就是我们今天坐在这里来商讨的意义所在。

我们今天讨论的纲领，就是从源头来解决这一切的。”

说罢，他又打开了投影仪。

此时的幕布上面，光刻机器七大子系统赫然出现在ppt中，甚至每个子系统又拆分成不同的细分系统。

上面的绿色标明了哪些部件是可以国产的，而黄色部分则是哪些部件是现有技术下可以解决的，如光源，以前没有，是国内没人造光刻机，现在有人要造要用，自然是可以解决的。

毕竟，论到玩激光，华国才是祖宗。

甚至，单从光源来说，成创天院士的研发的kbbf晶体可以反向卡欧美的脖子，没有这玩意儿，根本就没有euv光刻机。

而这个晶体，成创天院士以一己之力硬生生的卡了欧美15年的脖子。

众大佬也知道这种情况。

一张硕大的图片，让众大佬很是无语。

“你小子真的是为难我们这些老头子哦！”

即使是在投影幕布上，那密密麻麻的，字跟蚂蚁大小也差不多，让他们叫苦不迭，纷纷想要起身去前面拿着放大镜仔细看着。

萧雅适时的将各系统详细分解图在会议室里散发着。

上面的字体斗大斗大的，倒是让老头老太太们舒服了不少。

而年纪最大的王守武等人，旁边也专门有国安的人员坐在一边替他们念着。

又是十来分钟过去，一众大佬纷纷放下了手里的资料以及……手里的放大镜。

不过望着上面几乎比例可以达到70的白色区域，都是摇头苦笑着。

差的太多。

……

(本章完)

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